胡文平教授课题组

Research Group of Prof. Wenping Hu

纳米压印——另辟蹊径的芯片制造技术

大家见过火漆印章吗?

故宫火漆印章[1]


纳米压印技术和火漆印章类似,即把电路做成模具,在胶体上压印出电路图案。

资料来源:佳能官网[2]


过去几十年,光刻是制造芯片的主流技术。然而当芯片越做越小,光的波动性就越来越突出,会发生衍射,导致曝光图形失真[3]

光的衍射现象


将胶体利用喷墨打印法涂布到硅基底上。机器利用精密的打胶算法精确控制喷涂位置和喷射量[2]


像盖章一样,将刻有电路图案的模具向涂布好胶体的硅基底压印[2]



从模具上方照射紫外线,使胶体硬化,将模具脱离胶体。因为纳米尺度的电路非常脆弱,在脱模时不损坏电路图案是非常困难的。经过科研人员的不懈努力,发明了相关技术,攻克了以上难题[2]




参考文献:

[1] Phenomenon. 不擦勺挑战action![EB/OL]. 小红书. (2022.5.13)[2024.3.19]http://xhslink.com/gTuL4D

[2] New Technology That Achieves Miniaturization with Low Power Consumption and at Low Cost [EB/OL].Canon.[2024.3.20] https://global.canon/en/technology/nil-2023.html

[3] 谈三圈.如何制造5纳米芯片:纳米压印 vs EUV光刻机[EB/OL].bilibili.(2023.10.22)[2024.3.19]

https://www.bilibili.com/video/BV1wu4y1W7gh/?spm_id_from=333.337.search-card.all.click&vd_source=1f2f47f1f4d507ed9fb377190d0ae958

[4] Stephen Y. Chou[EB/OL]. PRINCETON UNIVERSITY.[2024.3.19]

https://ece.princeton.edu/people/stephen-chou

[5] Nanoimprint lithography semiconductor manufacturing system that covers diverse applications with simple patterning mechanism[EB/OL].

Canon.(2013.10.13)[2024.3.19]

https://global.canon/en/news/2023/20231013.html

[6] 周郁[EB/OL].百度百科.[2024.3.19]

https://baike.baidu.com/item/%E5%91%A8%E9%83%81/3233330?fr=ge_ala








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