Research Group of Prof. Wenping Hu
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溶液加工法总结示意图[1]
在光盘上涂布有机溶剂[2]
旋涂过程[4]
在硅片上旋涂光刻胶[6]
参考资料:
[1] Ying Diao, Leo Shaw, Zhenan Bao* and Stefan C. B. Mannsfeld,* Morphology Control Strategies for Solution-Processed Organic Semiconductor Thin Films [J]. Energy Environ. Sci., 2014, 7: 2145-2159.
[2] Dally_Videos. 光盘制造全过程(合集)[EB/OL]. bilibili.(2022.3.12)[2024.2.15] https://www.bilibili.com/video/BV1VT4y1D74G?p=1&vd_source=1f2f47f1f4d507ed9fb377190d0ae958
[3] 旋涂[EB/OL]. 百度百科[2024.2.12] https://baike.baidu.com/item/%E6%97%8B%E6%B6%82/9640952?fr=ge_ala
[4] 珠山碧海贡橙人. 旋涂操作演示[EB/OL]. bilibili.(2022.7.11)[2024.2.15] https://www.bilibili.com/video/BV1Qk4y1P76d/?spm_id_from=333.337.search-card.all.click&vd_source=1f2f47f1f4d507ed9fb377190d0ae958
[5] 彭俊彪,兰林锋等. 印刷显示材料与技术[M],科学出版社,2019,55-190.
[6] 谈三圈. 芯片制造详解04:光刻技术与基本流程|国产之路不容易[EB/OL]. bilibili.(2021.11.6)[2024.2.15] https://www.bilibili.com/video/BV1tP4y1j7BA/?spm_id_from=333.337.search-card.all.click&vd_source=1f2f47f1f4d507ed9fb377190d0ae958
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